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    公开号:WO1988004785A1
    申请号:PCT/JP1987/000969
    申请日:1987-12-11
    公开日:1988-06-30
    发明作者:Katsuyuki Imoto；Hirohisa Sano；Hideaki Tsushima
    申请人:Hitachi, Ltd.；
    IPC主号:G02B6-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称 光合分波器およびそれを用いた光モ ジュール 技 術 分 野
    [0003] 本発明は、 光合分波器に関 し、 特に光 ファ イバ通信の光波長多 重伝送に用い られる光合波器， 光分波器、 および光合分波器等の 光学デバ イ ス と 、 それ ら のデバ イ ス に半導体発光素子ゃ受光素子 等を一体化 した光モジュールに関する 。
    [0004] 背 景 技 術
    [0005] 光 ·フ ァ イ バ通信における光波長多重伝送技術は通信シ ステ ム の 経済化をはかる上で重要であ り 、 上記光波長多重伝送において、 光合分波器は必須のデバイ スである。
    [0006] 光合分波器の構成は、 従来、 干渉膜フ ィ ルタ型， 回折格子型の よ う な個別部品型が主流を しめていた。 これに対 して低コ ス ト化 1 チップモ ノ リ シ ッ ク化を めざし た導波路型構造を研究する動き が生 じて きた。 その一例と して、 方向性結合器形光分波器 （佐々 木および大黒 ： 方向性結合器形光分波器， 昭和 5 3年度電子通信 学会総合全国大会， S G — 2 ) があ る 。 こ れは第 7 図に示すよ う に、 幅 Wの二つの光導波路 a ， b を長さ L にわたつて間隔 S を も つて並行に配置 し てい る。 n i は光導波路の屈折率で . n 2 は他 の部分の屈折率であ る つ ま り 本例は このよ う に し て二つの光導 波路の結合の波長依存性を利用 して、 光分波特性を得てい る ので あ る こ のよ う にする と 、 ボー 卜 1 から入つた 2 波長多重光 P i は、 そォ I ぞれ波長 λ 1 の光 Ρ 1 と 、 波長 ；： の光 Ρ 2 と に分離さ れてそれぞれポ一 卜 2 . から出力 される ， また篛 S 図は . 複 %'■{ 個の方向性結合器 4 — 1 〜 4 — 3 と複数の合波器 5 — 1 ， 5 - 2 を用いて構成する こ とによ り、 アイ ソ レーシ ョ ン特性の改善をは かるよ う にしたものである。
    [0007] 発 明 の 開 示
    [0008] 第 7 図の構成の光分波器は第 9 図の浚長特性で示すように、 波 長ェ 3 mと 1 . 5 5 mの光分波を考えた場合、 透過減衰量 2 δ d B以上を保持する蒂域幅 2が 2 0 n m程度しかない - そのた め、 半導体発光素子の温度変動によって上記波長 1 . 3 m と 1 . 5 5 πιの値が変動する と、 希望波長を分波した系に非希望 波長の光信号が漏洩してきて干渉 （いわゆるク ロ ス トーク） を起 こ し、 信号品質を劣化させるという問題がある。
    [0009] 第 8 図の構成の光分波器は高アイ ソ レ 一シ ヨ ンを保持する蒂域 辐を広く とる ことができるが、 構造寸法がそれぞれ異なる 3 つの 方向性結合器と、 2つの合波器を甩いなければならないために、 全体のサイ ズが大き くな り 、 導波路損失によって損失が増大する また、 構造寸法がそれぞれ異なつた方向性結合器のため、 それぞ れに対応したマスク を用意しなければならず、 コ ス ト高になる - また複維な構成のため、 製作が大変にむずかしい - 特にサイ ズが 大きいために、 パタ一二ング化のための露光用マ スクが 3枚 J¾上 も必要にな リ コス 卜高， 製作精度がでない、 製作がむずかしいと いつた m題点もある さ らに第 7図および第 8 図の共通した問題 点と して、 ポ - ト 2 および 3 に半導体光素子 （発光素子、 また は受光素子、 あるいはその両方 を一体的に形威した光モジユー ルを実現した場合に、 上記半導体光 ¾子の 1儸あるいは雨方が特 性劣化、 または寿命に よ り こわれた り した場合には、 上記光モジ ユールごと取 り換えな ければな らず、 非常に不経済である。 すな わち、 光分波器がまだ使えるの にすてなければな らないからであ る。 またこわれた場合には取 り換えに時間 を要するので、 その間 の通信の中断を余儀な く さ れる と い う 問題点も あ る 。 すなわち、 光モジュール自身の フ ェールセー フ （ 2重化対策） がほどこ され てお らず、 使用者に不安をおこ させた り 、 通信を中断させる こ と によ る社会的な影響を およぼ し た りする。
    [0010] 本発明によれば上記問題点は、 波長 λ iと ； I 2の光信号が伝搬す る主導波路に波長 の光信号を分波させる第 1 の分岐導波路を 並行に配置 して結合させ、 該主導波路の出力側に さ ら に波長 λ 1 の光信号を分波させる第 2 の分岐導波路を並列結合させ、 該第 1 の分岐導波路の出力側にも波長 λ ュ の光信号を分波させる第 3 の 分岐導波路を並列結合させる こ と に よ り 、 達成さ れる 。 また光信 号を逆流させて合波させる こ と もでき る 。 また上記 目 的は、 さ ら に上記各々 の導波路の出力側に半導体光素子を接続 した り 、 主導 波路と第 1 の分岐導波路の入力側に光スィ ッチ を接続する こ と に よ り 、 解決さ れる 。
    [0011] 主導波路、 および第 1 ， 第 2 ， 第 3 の分岐導波路 を用 いて同一 の光合分波器を 3 つ構成させ、 所望波長を分波させて伝送させる ポ一 卜 に非希望波長阻止用の フ ィ ルタ 部が搆成される よ う にする こ と に よ り 、 高ア イ ソ レ ー シ ョ ン特性を実現する こ と がで き る ： こ こ で光合分液器は . 光信号の流 し方で光分波器， 光合波器又は その両者の機能を Ψす る ものであ る また同一の光合分波器であ るので、 一つの先合分波器マスク を作っておいて、 これを転写露 光するだけで上記搆成を実現できるので、 低コ ス トであ り、 また 光合分波器を高精度で作る こ と ができる。 また上記搆成の 4つの 出力ポー ト側に発光素子、 または受光素子を配置させ、 2つの入 カポ一 ト側に 1 X 2型の光スィ ッチを接続し、 上記発光素子また は受光素子の動作状態監視回路を通して上記光スィッチの切換え を制御する こ とによ リ 、 2重化安全対策と 自己故障診断復帰機能 をもたせ、 通信の中断による使用者への不安や社会的な影響を予 防する こと ができる さ らに、 主導波路の入力ポ一 卜へ波長 λ 丄 の光信号を入力させ、 第 3 の分岐導波路の岀カポート側へ接続さ れた受光素子で上記波長 λ i の光信号を受信し、 増幅 ， 波形整形 回路を通して第 2 の分岐導波路の出力ポー トに接続された波長 λ i の光信号を発生する発光素子を駆動し、 第 1 の分岐導波路の 入力ポ一小から波長； ί ί の光信号を出力させる。 逆に、 第 1 の分 岐導波路の入力ポー トへ入射した波長； 2 の光信号を第 1 の分岐 導波路の出力ポー 卜に接続された受光素子で受信し、 増幅 · 形 整形回路を通して主導波路の出力ポー トに接続された波長 λ 2 の 光信号を発光する発光素子を駆動し、 この波長 λ 2 の光信号を主 導被路の入力ポ一 卜から出力ざせる ことにょ リ、 方向伝送用の 光中鍇モジュールを実現させることができる。 このよう な構成は 全く新規なものでぁ リ 、 広蒂域にわたつて高アイ ソ レーショ ン を 保ち、 かつ抜本的経済化をはかれ、 さ らに非常に単純な搆成であ るので作りやすく 、 また光素子が出力ポー トへ平行に配列されて いるので作りやすく 、 また光 入岀力 ϋ - 方側に平行に配列し てい る ので、 装置内に コ ン ノ ク 卜 におさ め られる 。
    [0012] 本発明の他の 目 的は、 上記光合分波器を用 いた双方向光コ ヒ 一 レ ン ト通信方法及ぴシステム を提供する こ と にある。
    [0013] 上記目 的は、 2 本の導波路を並列に配置させた第 1 光合分波器 の出力導波路に、 こ の第 1 光合分波器と 同 じ構造の第 2 , 第 3 光 合分波器の入力導波路の一方を接続 し た構成と し 、 上記第 1 光合 分波器の各入力導波路には波長の異な る 2 つの光信号が伝搬する よ う に し 、 上記第 2 ， 第 3 光合分波器の出力導波路の 一つ には光 変調器， ビームスブ リ ツ タ ， 半導钵発光素子を縦続接鏡 し、 上記 第 2 ， 第 3 光合分波器の出力導波路の残 り には ビームスプ リ ッ タ 受光素子を縦続接続 し 、 かつ、 該半導体発光素子の光信号の一部 を該受光素子に入射させる よ う にする こ と に よ り 、 達成さ れる 。 本発明では、 導波路を組み合せた光合分波器を用いてい る ため . 構成が簡単で雑音や干渉の少ない ¾方向光コ ヒ ー レ ン 卜通信を実 現でき る。
    [0014] 本発明の他の 目 的は中心波長シ フ ト を補正する こ と ができ る よ う に し た光合分波器およびその製造方法を提供する こ と にあ る。 上記 目 的は .. 低屈折率層 （屈折率 n b ) の上に コ ア と なる複数 個の方形導波路 （屈折率 n c， n c > n b ) を並置 して搆成 し 、 上 記コ ア導波路に、 屈折率が n c , ( n c a < n c , n c ≠ n b ) の ク ラ ッ ド を被覆 し た方向性結合器型光合分波器に よ って達成される。 そ して上記ク ラ ッ ドは熱処理する こ と によつて屈折率が高 く な る 膜か ら な り 、 光合分 ¾器の中心波長は熱処理時間 ， あ る いは熱ェ ネル ϋ一量を調節す る こ と に よって制御する 本発明では、 低屈折率層の上にコアを形成した段階で、 種々の 構造パラ メータ を測定し、 設計値からの镉差の状態を考慮に入れ てクラッ ドの屈折率を調節し、 中心波長シフ トをほぼ完全に補正' するよう に制御できるので、 歩留 り 1 0 0 %近く で光合分波器を 得ることができる。
    [0015] 図面の箇単な説明
    [0016] 第 1 図及び第 2図は本発明の 6光合分波器の実旛例、 第 3図は本 発明の双方向伝送用先モジュールの実施例、 第 4 図は本発明の高 信頼度型光モジュールの実施例、 第 5図は本発明の双方向光中継 器甩光モジュールの実施例、 第 6 図は本発明の双方向伝送用光モ ジュールの実施例、 第 7 および 8図は従来の光分波器の概略図、 第 9 図は本発明者が計算し†:従来の光分波器の波長損失特性、 第 1 0図および第 1 2 図はそれぞれ本発明の双方向光へテロダイ ン 通信方法の実施例図、 第 1 1 図は本発明に用いる方向性結合器の 波長損失特性図、 第 1 3 図および第 1 4 図は本発明の光合分波器 の基本構成図、 第 1 5図および第 1 6 図は本発明の光合分波器の 損失波長特性解祈結果図、 第丄 ·7 図は本発明者が試作したク ラッ ドの屈折率特性およぴ熱処理によ る屈折率変化特性図、 第 1 8 図 は本発明の熱処理法による クラ ジ ドの屈折率を調節する方法図、 第 1 9図は本発明の熱処理法によるク ラッ ド (7;屈折率変化特性匪 第 2 0図は本発 Β月の光合分波器の試作器の損失波長特性國である —発明を実施するための最良の形態
    [0017] 第 1 図に本発明の光合疲器の実施例を示す- 7 — 1 は主導波路 7の人力倔ボー トであ り 、 このポー トには矢印 1 1 (7)ごと く波長 λ i , λ 2の光信号が入力 されてい る。 8 — 1 は第 1 の分岐導波路 8 の入力側ポー トである。 6 — 1 は上記主導波路 7 と第 1 の分岐 導波路 8 によ り形成さ れた方向性結合器型の光合分波器であ リ 、 その構造パラ メ ータ および波長特性の計算結果は第 9 図に示すご と く ものであ る。 すなわち、 主導波路 7 の入力側ポー ト 7 — 1 に 矢印 1 1 のごと く 入射 し た波長 λ i (たと えば、 1 . 3 μ m ) ， λ 2 (たと えば、 1 . 5 5 m ) の光信号は、 光合分波器 6 — 1 に おいて波長 λ の光信号が分波さ れて第 1 の分岐導波路 8 の出力 側ポー ト 8 — 2 内を伝搬 してい く 。 また波長 ； ί 2 の光信号は分波 さ れずにそのま ま主導波路 7 の出力側ポー ト 7 — 2 内 を伝搬 して い く 。 また主導波路 7 の出力側は第 2 の分岐導波路 9 とで方向性 結合器型の光合分波器 6 — 2 が構成されてい る。 こ の光合分波器 6 — 2 は 6 — 1 と 同 じ構造パラ メ ータ を有するもので、 同一の作 用 を有する。 すなわち、 この光合分波器 6 — 2 を設ける こ と によ リ 、 主導波路 7 の出力側に漏れて きた波長 ； I 3 の光信号を分波さ せ、 第 2 の分岐導波路 9 の出力側ポー ト 9 — 2 に伝搬させる よ う に したも のである 。 したがって、 出力側ポー ト 7 — 2 には波長 Λ 1 の光信号成分がほと んど含まれな く な り 、 不要信号 を含まな い波長 λ 2 の光信号がと リ ださ れる 。 すなわち、 不要な干渉信号 が混入 し な く な る - 第 1 の分岐導波路 S の出力側ボー ト 8 — 2 に も 6 — 1 , 6 — 2 と 同 じ構造パラ メ ータ 、 同一作用 を有す る光合 分波器 6 — 3 が設け られてい る。 すなわち， 第 1 の分歧導 路 の出力側に第 3 の分岐導波路 1 0 を益列結合させたも ので、 光合 分波器 6 — 1 で分波さ れた波長 ； の光信号は第 1. の分岐導波 8 の出力側を伝搬し、 ふたたび、 光分波器 6 — 3で分波されて第 3 の分岐導波路 1 0 の岀カ側ポート 1 0 — 2内を伝搬してい く 。 そして、 8 — 2内に含まれていた不要な波長；. 2 の光信号は、 そ のまま 8 — 2の出力端側に伝搬してい く 。 すなわち、 1 0 — 2 の 出力端側には不要な波長 λ 2 の光信号がほとんど含まれず、 波長 X 1 の光信号のみとなる この構成では、 同一搆造パラメータ、 同一性能の光合分波器 6 — 1 ， 6 — 2 , 6 — 3 を— 3個用いる こ と によ y、 干渉信号のほとんど含まれない高い信号対維音比をもつ た光合分波器を実現する こ と ができる。 そしてこれを作る上でも 同一光合分波器 3つの組合せであるので、 非常に有利である。 つ ま り、 一つの光合分波器をマスク設計しておいて、 転写露光する こ と によ リパタ ーンニングができるので、 マスク費用が安く てす む。 また小さいサイズのマスクですむために、 マスク寸法精度を 向上させる ことができる e
    [0018] 第 2図は本発明の光合分波器の別の実施例を示したものである すなわち、 主導波路 7 の出力側ポー 'ト 7 — 2 に波長 λ 2 の光信号 を受信する受光素子 1 2 — 1 を、 また、 第 3 の分岐導波路 1 0 の 出力側ポー ト 1 0 — 2 に波長 λ - の光 ί言号を受信する受光素子 1 2 - 2 を設けた構成である。
    [0019] 第 3 図は本発明の ¾方向伝送 光モジュールの実施例を示した ものである。 これは、 主導波路 7 の出力側ポー ト 7 — 2 に波長 1 2 の光信号を発光する発光素子 1 3 を、 第 3 の分岐導波路 1 0 の出力側ボ一 ト 1 0 — 2 には波長- λ 1 の光信号を受信する受光素 2 を設け、 ·主導波路 7 のムカ ポー 卜 7 — 1 から矢印 1 ュ 一 2方向へ波長 λ 2 の光信号を送出 し 、 逆に、 矢印 1 】 一 1 方向か ら き た波長 ； i の光信号を上記光モ ジュール内 を伝 ISさせて受光 素子 1 2 で受信する よ う に し た構成であ る。
    [0020] 第 4 図は本発明の高信頼度型光モ ジュールの実施例を示 し たも のであ る 。 これは、 発光素子 1 3 ， 受光素子 1 2 のいずれ力、、 あ る いは両方と も が寿命劣化， 故障な どによ り所望の動作を し な く なつた場合に . その代用 と飞ノて発 9 光素子 1 ， 受光素子 1 4 を動 作させて通信を正常に行なわせる よ う に し た構成の光モジュール である。 すなわち、 光フ ァイバ伝送路 2 0 は光スィ ッチ ·1 8 を介 して光モジュール （同図の A — A ' よ り 右側部） と接続さ れてい る。 こ の光スィ ッチ 丄 8 は、 通常よ く 知 られている方向性結合器 型の 2 X 2型のも ので、 方向性結合器の結合部に形成さ れた電極 部 3 4 に、 同図の ごと く A ， B 間に電圧 を 印加 しておき、 あ る印 加電圧 V の と きは光 フ ァイ バ 2 0 内を伝搬する光信号は導波路 2 5 — 1 を通 して導波路 7 — 1 に伝搬 し ·、 それよ り 高い印加電圧 V 2 のと きは光 フ ァイ バ 2 0 内 を伝搬する光信号は導彼路 2 5 — 2 を介 し て導波路 8 — 1 に伝搬する 。 電極部 3 4 の拡大図 を第 4 図 （ b ) に示す。 3 4 a 〜 3 4 d がそれぞれ電極であ る 。 光スィ ツチ 1 8 は一方の光導波路上に電圧 を 印加 し 、 電気光学効果によ る光導波路の屈折率変化を用いたも ので、 こ れ に よつて偶モー ド、 奇モー ド の 2 つ の定在波の位相が変化 し、 方向性結合器出力端で 光干渉が変化する現象を用いて い る （ R . V . Schmidt and H . K o g e丄 π l k ： Electro o p t i c a 1.1 s 11 c h e d coupler with ste pe d Δ β f e e a r s a 1 usin 丁 i diff use Li ; D 0ύ · * a v e g u j d e s， A p P I . P h y . Le t t .， 2 ( 1 9 7 S ) 5 0 3参照） 。 この印加電圧は最初に V I に設定されている。 そ して発光素子 1 3 、 受光素子 1 2 のい ずれか一方、 あるいは両方ともが異常を起こすと、 上記印加電圧 は制御信号 3 5 によ り駆動回路 1 7 を制御して、 V Lから V 2に変 えられる。 ここで駆動回路 1 7 は、 電圧源 と V 2をもち、 これ らの電圧源のどちら を選択して光スィッチに印加するから制御信 号 3 5 により電気スィ ツチを切換え制御する こ と によって行なう 構成であ り、 よ く知られたスイ ッチング回路で実現できる - 次に 上記光素子 1 2， 1 3 が異常を起こ した場合の制御信号の発生系 と予備の光素子 1 4， 1 5 の駆動系への移行方法について述べる 受光秦子 1 2への光入力信号、 あるいはこの光信号を受光素子 1 2で電気信号に変換した信号のいずれかば 3 0 の信号モニタ部 および比較回路部へ入力されておリ、 上記信号があ らかじめ定め た所定値 （これは最小受信感度レベルに近い値。 ) ¾下になつた 場合には比較回路部の出力に制御信号 3 5 が発生する。 そしてこ の制御信号 3 5 は駆動回路 1 7 を制御するのと同時に、 受光素子 1 4 の駆動回路 3 3 を作動させ、 受光素子 1 4で、 波長； の光 信号を受—光させる。 さ らに発光素子 1 5 を駆動させる駆動回路 3 1 も作動させ、 発光素子 ] -5 よ り 、 被長 の先信号を発光さ せる。 発光素子 1 3 よ り発光する光信号があ らかじめ定めた所定 値以下になった場合にも、 3 2の信号 （光信号、 あるいはそれを 電気信号に変換した信号—） モニタ部でモニタ し、 比較回路部で半 Li 定してその出力僻に制御信号 3 5 を発生させ、 こ の制御信号 3 5 で発光素子 1 5 と受光素子 ί 4 を駆動さ亡、 さ らに駆動回 1 7 も駆動 して印加電圧 を V i か ら V 2 に移行させる こ のよ う に し て、 障害によ る中断な く して双方向伝送が実現される こ と になる このよ う に 2重化機能を備えてい る ので、 非常に信頼性を上げる こ と ができ る。 また光素子 1 3 ， 1 2 がこわれたから と いって光 分波器ご 'とすてな く ても よ いので、 経済的でも あ る 。 さ ら に、 光 モジュール自身の 2重化安全対策と故障診断機能をもってい る の で、 セ キュ リ ティ上も極めて有効であ る 。 すなわち、 双方向光モ ジュ一ルに 2重化安全対策および故障診断自 己復帰機能をもった まった く 新 し い構成の光モジュール （すなわち、 第 4 図全体を一 つの光モジュールと した構成） の実現であ る。
    [0021] 第 5 図も本発明の光合分波器を応用 した双方向光中継器用光モ ジュールの実施例を示 したものである 。 これは主導波路の入力側 ポー ト 7 — 1 に入射 し た波長 λ i の光信号 （前の光中断器か ら送 られて きた光信号） が光合分波器 6 — 1 で分岐され、 また光合分 波器 6 — 3 で分波さ れて受光素子 1 2 に入 り 、 電気信号に変換さ れて 2 1 — 2 の通常、 電気回路でよ く 用い られる、 たと えば演算 増幅器 · 波形整形回路を通 して 2 2 — 1 の発光素子駆動回路に入 力 さ れる ，. そ して発光素子 2 S が駆動さ れて波長 λ の光信号を 発光 し、 光合分波器 6 — 2 ， 6 — 1 でそれぞれ分波さ れて第 1 の 分岐導波路 8 の入力側ボー ト 8 — 1 側に伝送さ れ、 こ のポー ト 8 - 1 を 出て次の光中鎞器へ送 られ ^ 逆に次の光中鎞器か ら送 ら れて き た波長 λ 2 の光信号は第 1 の分岐導波路の入力側ポ一 ト 一 1 に入射 し 、 光合分波器 6 — 1 ， 6 — 3 を通 して受光素子 2 7 に送られる 、 そ し て こ の受光素子 2 7 で送 られて きた情報信号が 電気信号に変換され、 増幅 ' 波形整形回路を通して発光素子駆動 部 2 2 — 2 に入カされる - この発光素子駆動部 2 2 — 2は発光素 子 1 3 を駆動し、 波長 ; 2 の光信号が発振させられる。 波長； 2 の光信号は光合分波器 6 — 2， 6 — 1 を通つて主導波路の入力側 ポー 卜 7 — 1側に伝送され、 このボ一 卜 7 — 1 を出て前の光中継 器へ伝送される。 このよう に 3つの同一光合分波器を用いる こ と によって、 双方向用光中継器も実現する こ と ができる。
    [0022] 本発明は上記実施例に限定されない。 まず光合分'波器は同一の ものを 3個用いる以外に、 4個以上甩いてもよい。 また、 第 6 図 に示すよ う に、 2つの同一の光合分波器 6 — 1 , 6 — 2 と、 それ とは異なった 1つの光合分波器 2 3 とから構成してもよいが、 今 までに述べた実施例に対じて経済的効果は小さ くなる。 発光素子 には半導体レーザ、 発光ダイオードなどが使える。 また波長は任 意の波長を選択する こ とができる。
    [0023] 本発明によれば、 同一構造のパラメータ の光合分波器を複数锢 用いて構成する こ と によ り 、 高アイ ソ レーショ ンを保持でき、 か つ非常に低コス トに 現できる という効果がある。 また、 上記光 合分波器を応用する こ どによ リ 、 2重化安全対策および故障診断 自己復帰機能をもつたまつたぐ新しい双方向先モジュールを実現 でき、 高信頼で安全性の高い通信の実現に有効である。 さ らに、 別の応用と して、 各光中継器間を双方向光中継伝送させるための 双方向先中継用モジュールを箇单かつ経済的に構成する こ とがで き る 。 — —
    [0024] 第 i 0 図に本発明の他の ¾方向光へ子 αダイ ン通信方法の実旌 例を示す。 これは、 上 り側、 あ る いは下 り 側のいずれかの局内の 光モ ジュールの構成例を示 したものである。 そ して矢印 1 1 一 3 方向 （上 り側とする 。 ） か ら光 フ ァイバ内 を波長 λ i， λ 3の光信 号が伝搬 してきて第 1 光合分波器 6 — 1 の導波路 7 内に入射する 逆に導波路 8 内 を伝搬 してきた波長 ； 1 2 , λ 4の光信号は矢印 1 1 一 4 (下 り側とする 。 ） のごと く 進み、 光 フ ァ イバ内 を伝搬 して 下 り側の局へ送 られる。 すなわち、 上の 2 波長、 下 り 2 波長の 4 波長双方向伝送の例である 。
    [0025] 光合分波器 6 — 1 ， 6 — 2 , 6 — 3 は同一構造のも のであ り 、 その構造、 特性は第 1 1 図に示すよ う なものであ る。 導波路 a に 波長 λ 2 , λ 3 , λ 4の光信号 P i が入射する と 、 こ の導波路 a の出力側には波長 λ i， λ 2の光信号 P i が導波され、 導波路 b の出力側には波長 λ 3， 4の光信号 Ρ 2 が分岐さ れて導波さ れる ： こ こで、 波長 ； I 丄と λ 2はご く 接近する 力、、 あ る いは等 し く ても よ い。 また波長 λ 3と λ 4も接近 して い る か等 し く ても よ い - た と え ば、 波長 ： 1， λ 2を ： I . 3 i m蒂と し、 波長 λ s， λ 4 & 1 . 5 μ τ 帯とする と 、 このよ う な光合分波器は容易に実現さ れる 。 その構 造ノ、。ラ ー タ の一例を述べる と 、 W = 1 0 m ， S = 3 . 1 6 μ m , L = 4 9 6 5 πι , 導波路の厚み 8 m、 導波路と その周 囲 を覆ってい る ク ラ ッ ド と の屈折率差 0 . 2 5 %であ る 。
    [0026] 第 】 0 図 において、 4 8 ― 】 〜 4 8 — 4 は ビーム スプ リ ：ソ タ 、 4 G ， 4 7 は光変調器、 4 2 ， 4 3 は半導体発光素子、 4 4 , 4 5 は受光素子であ る ：.
    [0027] 次に第 1 0 図の動作を説明する 波長 A aの光信号は矢印 1 1 一 3 のごと く 、 導波路 7 に入射する。 波長； 1 の光信号は光 合分波器 6 — 1 ， 6 — 2 を通って矢印 4 1 のごと く進み、 ビーム スプリ ッタ 4 8 - 1 に入射する。 そ して、 このビ一ムスプリ ッタ 4 8 — 1 を通過して受光素子 4 4 (たとえば、 アバランシエホ ト ダイオード、 ホ トダイオードなど。 ） に入射する。 この受光素子 4 4 には波長； 2 で発振する半導体発光素子 4 3 の一部分の光信 号 4 0 — 2がビームスプリッタ f -、 - 4 8 一 2 , 4 8 — 1で反射されて
    [0028] 4
    [0029] 入射されている。 すなわち、 この光信号 4 0 — 2 は局部発振信号 と して作用 し .. 受光素子 4 4は波長 λ iの先信号 4 1 と波長え 2の 光信号 4 0 — 2で光へテ πダィ ン検波受信が行なわれる。 この半 導体発光素子 3 の発振波長の安定化をはかっておけば高安定の光 ヘテロダイ ン検波が実現される。 導波路 7 に入射したもう一つの 波長 λ 3 の光信号は光合分波器 6 — 1 , 6 — 3で順次分波されて 矢印 5 2 のごと く 伝擻し、 ビームスプリ ッタ 4 8 - 4 を通して受 光素子 4 5 に入射する またこの受光素子 4 5 には、 波長 λ で 発振する半導体発光素子 4 2の一部分の光信号 3 9 — 2 がビーム スプリツタ 4 8 — 3 ， 4 8 — 4で反射されて入射し、 波長 λ 3 と λ の光信号によ り光へテ αダィン検波が行おれる。 そ してこの 半導体発光素子 4 2 の発振波長の安定化もはかっておけば、 高安 定の光へテロ ダイ ン検波が実現される - 波長 λ 2 で発振する半導 体発光素子 4 3 の光信 の残リの光信号はビ一ムスプリ ッタ 4 8 一 2 を通過して光変調器 4 7 に入り、 こ こで外部変調ガ;かけられ その光信号 4 0 — 1 は光合分—波器 Π — 3 ， 6 — 1 を導波して導波 路 4 6 を矢印ュ 2 — 4 のごと く進み、 光ファ イバ を伝搬して下 ( 1 り側の局へ伝送さ れる。 また波長 λ 4 で発振する半導体発光素子 4 2 の光信号の残 り の光信号は ビーム スプ リ ッ タ 4 8 — 3 を通過 し て光変調器 4 6 に入 り 、 こ こ で情報信号によ り外部変調さ れる タ 部変調のかけ られた光信号 3 9 — 1 は光合分波器 6 — 2 ， 6 — 1 でそれぞれ分波さ れて導波路 4 S 内 を矢印 1 ュ — 4 の ごと く 進 み、 光 フ ァイバ内を伝搬 して下 リ側の局へ伝送さ れる 。 波長 λ 丄 と λ 2 、 および I 3と ； I 4が等し い場合には光ホモダイ ン検波と な る 。 第 1 0 図の構造は、 同一の光合分波器 3 個を用 いてい る ので . 波長 ； 1と λ 3、 および ； 2と λ 4のァイ ソ レ 一 シ ヨ ン を極めて大き く と る こ と ができ る。 特に、 光へテ ロ ダイ ン検波、 光ホモダイ ン 検波のよ う なコ ヒ ー レ ン 卜光通信の場合、 各波長間の干渉は信号 対雑音比の劣化を と もない、 コ ヒ ー レ ン ト光通信の特徴を そ こな わせて し ま う 。 し たがって、 この よ う に波長間のアイ ソ レーシ ョ ン を十分に大き く と れる構成の光合分波器を もった双方向コ ヒ ー レ ン ト光通信方法は有利であ る 。 また対称構造で、 かつ簡単な搆 造であ るので、 非常に作 り易 く 、 低コ ス ト化が可能である。 し か も 4 波長双方向伝送であ るので、 大容量の情報伝送が容易である 。 また半導体発光素子 2 ， 3 を情報伝送用光源と局部発振用光源に 兼用 してい るので、 よ り経済的な構成であ る - 第 1 2 図は本発明の双方向光へ亍 π ダイ ン通信方法の別の実施 例 を示 し たも のであ る これは導波路 7 内 を矢印 1 1 一 5 , 1 1 — 6 のごと く 、 また導波路 8 内 を矢印 1 j 一 了 ， 1 .1 - 8 の ごと く 、 お互い に逆方向に光信号を伝送させる よ う に し た 4 波長双方 向光へ千 口 ダィ ン通信方法であ る .. すなわち、 それぞれ（7)光 フ ァ ィバ内を波長の異なる光信号が双方向に伝送されるよ う に搆成し たものである。 まず、 矢印 1 1 一 5 のごと く伝搬してきた波長 1 の光信号は導波路 7 内に入射し、 光合分波器 6 — 1 ， 6 - 2 を通って矢印 5 1のごと ぐ進み、 ビ一ムスプリ ッタ 4 8 — 1 を通 つて受光素子 4 4 に入力される。 この受光素子 4 4 には波長 3 で発振する半導体発光素子 4 3 の光信号の一部がビームスプリ ッ タ 4 8 — 2で分岐され、 ビームスプリ ッタ 4 8 — 1で反射されて 波長 λ 1 の光信号と同様に入力されている。 そ して光へテロダイ ン検波受信が行われる。 半導体発光素子 4 3 の残り の光信号 （波 長 3 ) はビームスプリ ッタ 4 8 — 2 を通って光変調器 4 7 に入 力される。 そしてこ こで情報信号によリ変調された光信号 5 7 — 1 は光合分波器 6 — 3， 6 — 1で次々 に分波されて導波路 7 内を 伝搬し、 矢印 1 1 一 6のごと く光ファイバ内を伝搬して下り側の 局へ送られる。 矢印 1 1 一 7 のごと く伝搬してきた波長 λ 2 の光 信号は簦波路 8 内に入射し、 光合分波器 S - 1 ， 6 — 3 を通って 矢印 4 0 — 1 のごと く進み、 ビームスプリ ッタ 4 8 — 4 を通って 受光素子 4 5 に入力される。 この受光素子 4 5 には波長 λ 4 で発 振する半導体発光素子 4 2 の光信号の一部がビー厶スプリ ツタ 4 8 — 3で分歧されるて矢印 4 9 一 2 のごと く進み、 ビームスプリ ッタ 4 8 一 4で反射されて波長 λ 2 の光信号と同様に入力されて いる - そ して光へテ Πダイ ン検波受信が行われる。 半導体発光素 子 4 2 の残り の光信号 （狻長 λ 4 ) はビー厶スプリ ツタ 4 8 — 8 を通って光変調器 4 S に入力され、 こ こで情報信号によ り変調さ れた光信号 4 9 ― 1 は光合分波器 β - 2 β — ：！ で次々 に分波さ れて導波路 8 内を伝搬 し、 矢印 1 1 一 8 の ごと く 光 フ ァ イバ内 を 伝搬 して下 り 側の局へ送 られる。 第 1 0 図と 同様に簡単な構成、 高ア イ ソ レ ー シ ョ ン特性、 低コ ス ト 、 多波長双方向伝送を実現す る こ と ができ る。
    [0030] 本発明によれば、 双方向光コ ヒ ー レ ン ト通信を簡単な構成で、 かつ、 信号対雑音比の劣化や干渉劣化の少ない特性を実現する こ と ができ る„ ま た、 情報伝送用の光源を局部発振器光源と併用す る こ と ができ るので、 低コ ス トィヒをはかれる と いった効果がある 本発明の光合分波器の基本構成を第 1 3 図および第 1 4 図に示 す。 第 1 3 図は光合分波器が 1 個の場合、 第 1 4 図は光合分波器 が 3個の場合である。 同図からわかる よ う に、 基板 1 (屈折率 n s)の上の低屈折率層 2 (屈折率 n b)の上に、 コ ア と なる複数個 (こ の場合 2個である が、 3個以上でも よ い。 ） の方形導波路 3 一 1 ， 3 - 2 (屈折率 n c， D C !) " )を並置 して構成 し、 上記コ ァ導波路に、 屈折率が n c a ( n c < n z ≠ n b ) の ク ラ ッ ド 4 を被覆 した構成であ る。 こ の ク ラ ッ ド 4 の屈折率 n c 2は n b よ り も低 く ても、 あ る いは高 く ても よ い。 第 1 4 図のよ う に方向性 結合器を 3個用 い る のは、 波長間のア イ ソ レ ー シ ョ ン を高 く して チャネル間干渉に よ る信号品質の劣化を小さ く する ためである。 すなわち、 ポー ト i に入射し た波長 λ i ， λ 2 の光信号は、 光合 分波器 Α において . え i は導波路 6 5 に その ま ま導波される が、 λ 2 は導波路 6 6 に分成さ れ る ， 次に光合分波器 Β に おいては導 波路 6 に漏洩 した波長 λ 2 の非希望信号 をポ一 卜 1 に分波させ、 ボー ·· 2 には希望の光信号 .； のみを と リ だすよ う に作用する .. 同様に光合分波器 Cにおいては導波路 · S 6 に漏洩した波長； L i の 非希望信号をポ一 卜 3 にそのまま導波させ、 ポー ト 4 には希望の 光信号 ； 1 2 のみを分波してと りおすよ う にしたものである。 その 結果、 波長： I 1 と λ 2 間のアイソ レーシ 3ンを極めて大き く と る こ と ができる。 光合分波器 A， B , Cは同一構造のものである。
    [0031] ここで、 クラッ ド- 4 の屈降率 n c ^を低屈折率層 2 の屈折率 n b と異ならせるよう にしたのは次のよう な理由によるものである。 第 1 4図 （ b ) では基板の屈折率 n s と低屈折率層の屈折率 II b とが等しい場合である。 低屈折率層 2 の上にコアとなる膜を形成 し、 ホ ト レジス ト塗布， ホ ト リ ソグラ フィ ， 反応性イオンエッチ ング， ホ ト レジス ト除去などの製造プロセスを経て方形状の導波 路 3 — 1， 3 ― 2 を得る場合に、 上記プロセスによって、 コアの 屈折率 n c , 導波路の幅 導波路の厚み T、 および導波路間隔 S に偏差が生じ、 中心波長シフ トが生じる。 このまま低屈折率層 2 と同じ屈折率 II b のクラッ ドを被覆したのでは、 中心波長シフ 卜の生じた光合分波器ばかり ができてしまい、 まったく使いもの にならな くなってしまう。 ぞこで本発明では、 コアを形成した段 階で、 n c , W , T、 および S を測定し、 儒差の状態を把握した 後 クラッ ド 4 の屈折率 n c 2を上記偏差による中心波長シ フ トを 補正するよう に任意に選ぶよう にしたものである。 その結果と し て 、 プロセス偏差による中心波長シフ トを完全に補正するよ う に 11 c を設定すること によ り、. 歩留 り 1 0 Q %の光合分波器を実現 する こ とができるよう になり 、 大幅な低コス 卜化が可能になる - このよ う に、 プロセスの途中段階でモニタ し、 そのモニタ した情 - 1
    [0032] 5
    [0033] ( 1 9 )
    [0034] 報によ り 、 プロ セスに フ ィ ー ドバッ ク を かける方法は、 光合分波 器のよ う に、 わずかの構造パラータ の偏差によって波長特性を変 ィ匕させ り も の には極めて有効であ り 、 今までに まった く 導入さ れ ていなかった新 し いプロ セス作製法および新構造光合分波器を実 現し たも のである 。 次に、 ク ラ ッ ドの屈折率 n c «によって中心波長特性を どのよ う に制御する こ と ができ る かを本発明者が新規に解析 し たので、 そ の結果について説明する。 第 1 5 図および第 丄 6 図がその解析結 果の例であ る。 図か らわかる よ う に、 n c 2の値によって、 中心波
    [0035] 1 0 長がずれてい く こ と が示さ れてい る。 すなわち、 n c 2の値によつ て中心波長を シ フ ト させる こ と ができ る と い う 全 く 新し い構成法 を見いだ したも のである。 次に、 任意の屈折率を有する ク ラ ッ ドの形成方法について述べ る 。 第 1 7 図は本発明者が試作 し 、 測定 し たク ラッ ド膜の屈折率 特性測定結果を示 し たものであ る 。 これは、 3 9 0 °C に加熱さ れ たシ リ コ ン基板上に、 モ ノ シ ラ ン S i H 4 ( N 2で 4 % に希积され たガス） 、 ホ ス フ ィ ン P H 3 ( N 2で 1 % に希釈さ れたガス） '、 N 2 , 〇 2ガス を流 して形成さ れた膜の屈折率特性であ り 、 P H s の ガス流量を変える こ と によ り 、 屈折率を 1 . 4 4 か ら 475 0
    [0036] まで変える こ と ができ た 実線で示 した曲線がその場合の結果で あ り 、 点線で示 し た曲線は 〗 0 0 0 の温度で約 〗 Π 時間 （昇温 時間 2 . δ 時間 ， 保温時間 0 . 5 時間、 降温時間 7 時間） . 空気 中で熱処理 し た結果を示 したも のであ る - 熱処理 し た場合も屈折 率 を広範囲に変え られる こ と を示 してい る ： 第 - 1 7 図の結果から ク ラ V ドの屈折率:を広範囲に変える ことが明確にな り 、 本発明の 光合分波器が実現できる ことを示している。
    [0037] ク ラッ ドの屈折率を別の方法によ り変える方法を第 1 8 図に示 す。 同図 （ a ) は上面図、 （ b ) は ( a ) の X— X ' 断面図を示 したものである。 この方法は、 熱処理によってク ラッ ドの屈折率 が変わる膜をあ らかじめ形成して光合分波器を作っておき、 その 後、 光合分波器の入力端よ リ測定波長範囲をカバ一した光源 （た とえば、 白色光源、 この場合、 波長 λ ί〜； ί n = 0 . 6〜 1 · 6 m ) からの光 6 7 を入力 し、 各出力ボー トの光出力 6 8 , 6 9 を光ス ぺク トラムアナライザでモニタ しておく 。 次にク ラッ ド 4 の上面 に C 0 2 レーザビームを照射させて、 光合分波器のパターン上を 矢印 1 1方向にビームを移動させるか、 あるいはビー厶は固定し ておき、 光合分光器をスライ ドさせるかして、 クラッ ド 4 に熱ェ ネルギ一を加え、 ク ラッ ド 4の屈折率を変化させ、 分波光出力 S 9 を光スぺク トラムァナラィザで観測しながら中心浚長を制御 する - C O 2 レ一ザビーム照射光 7 0 のスポッ 卜サイズはパタ― ンも 力バーするよう に、 数 mm径程度が耔ま しい。 矢印 7 1方向へ の移動速度、 C 0 2 レーザビームの光出力は中心波長のシ フ ト扰 況を観測しながら設定する。 C 0 2 レーザビームの照射によ るク ラッ ドの屈折率變化の実測結杲を第 1 9 図に示す - これは、 C 02 レ一ザ光源の光 Ά力約 1 0 Wの光を G e製レ ン ズで約 6 mm のビ ームスポッ 卜サイ ズにしぼり、 これ 第 1 7図に示したよう に、 3 9 0 nCの温度で形成したガラ ス膜 （シ リ ケ一 トガラス膜と、 フ ォスフォ.シ リ ゲー トガラ ス膜 Γに M射して得た結果である -. 照射 時間によって屈折率を制御でき る こ と がわかった。 なお、 屈折率 の測定波長は 0 . 6 3 μ m であ る。
    [0038] 第 2 0 図は実際に試作 した光合分波器の損失波長特性の測定結 果を示 し たも のであ る 。 同図において、 厶印および A印が熱処理 前の特性であ り 、 O印および ©印が C 0 2 レーザで熱処理 し た後 の特性である。 なお、 同図には、 光 ファイ ノ （単一モー ド光 ファ ィバ） と導波路の間の結合損失、 および導波路損失は含まれてい ない。 これ ら の ト ータ ル値は約 5 d B であ り 、 その大部分は前者 . すなわち、 光 フ ァイ ノくと導波路と の間の結合損失に よ る ものであ る。
    [0039] 本発明は上記実施例に限定さ れない。 低屈折率層， コ ア， ク ラ ッ ドはガラ ス以外に、 高分子重合体， 誘電体， 磁性体な どでも よ い。 基板 1 には、 上記材質の他に、 S i ， I n P , G a A s な ど の半導体を用いる こ と ができ る。 また光合分波器に、 半導体発光 素子 （半導体 レーザ， 発光ダイ オー ドな ど） 、 受光素子な どの能 動光素子を搭載 し た光モジュールに構成 しても よ い。 またガラ ス 材料には、 石英ガラス， P ， G e , T i ， B な どの ド一パン ト を 含んだ石英ガラス， アル力 リ金層およびアル力 リ 土類金属を含ん だいおゆる多成分系ガラ スでも よ い。 熱処理の方法には、 電気炉， 高周波加熱炉な どに よ る方法， C 0 2 レーザ， Y A G レ ーザな ど の レ ーザによ る方法、 な ど種々 の方法を用い る こ と ができ る 。 ま た、 ガラ ス膜の形成は、 ス一 ト状の膜を形成後、 焼結によって ガ ラ ス化する方法でも よ い .. またコ アは完全な方法状でな く て も よ い , だ - えば、 楕円形^ . 円形状でも よ い， さ ら に第 1 3 図の光 合分波器を第 1 4図のごと く 3つ組合せた り、 あるいは 2つ組合 せてもよい。 さ らに波長多重数を増大させるために 4つ以上組合 せてもよい。
    [0040] 本発明によれば、 低屈折率層の上にコアを形成した段階で、 種 種の構造パラ メータ を測定し、 設計値からの偏差の状態を考慮に 入れてク ラッ ドの屈折率を調節し、 中心波長シ フ ト を完全に補正 するよ う に制御する こ と ができるので、 歩留 り I 0— Q %の割合い で光合分波器を実現する こと ができる。 その結果、 従来法に比し 大幅に低コス 卜な光合分波器を実現する こ と ができる。
    权利要求:
    Claims

    δ
    ( 2 3 )
    求 の 範 囲
    1 . 波長 λ i と λ 2 の光信号が伝搬する主導波路に波長 ； i の光 信号を分波させる第 1 の分岐導波路を並行に配置 して結合させ 該主導波路の出力側にさ ら に波長 λ i の光信号を分波させる第 青
    2 の分岐導波路を並列結合させ、 該第 - 1 の分岐導波路の出力側 に も波長 ； I i の光信号を分波させる第 3 の分岐導波路を並列結 合させた光合分波器。
    2 . 波長 λ i と λ 2 の光信号が伝搬する主 ¾波路に波長 ； i の光 信号を分波させる第 1 の分岐導波路を並行に配置 して結合させ0 該主導波路の出力側にさ ら に波長 λ i の光信号を分波させる第 2 の分岐導波路を並列結合させ、 該第 1 の分岐導波路の出力側 に も波長 l i の光信号を分波させる第 3 の分岐導波路を並列結 合させた光合分波器を備え、 前記主導波路 と第 3 の分岐導波路 の出力側に半導体光素子を接続 したこ と を特徴とする光モ ジュ -ル --.
    3 . 請求の範囲第 2項において、 前記第 2 と第 3 の分岐導波路の 出力側に波長 の光信号を発光する半導体発光素子か受光す る受光素子を接続 し 、 主導波路 と第 1 の分岐導波路の出力側に 波長 ： 2 の光信号を発光する半導体発光素子か受光する受光素 子を接続 し たこ と を特徴とする光モ ジュー ル -
    4 . 請求の範囲第 2 項又は第 3 項において .， 前記主導波路と第 1 の分岐導波路のノ、力側を 、 ノ、、力 が 1 ポ一 卜 で出力 が 2 ポ一 卜 の 1 X 2 型光ス ィ ッ チの出力ポー ト に接続 し 、 入力ボ一 卜 に光 フ ア イ バ を接続 し た 二 と を特徴 とす る光モ ジ'ニ ー ル -
    . 請求の範囲第 4項において、 光スィ ツチの出力ポ一 卜の選択 切換えは、 それぞれの導波路の出力側に接続された半導体光素 子の動作状態監視甩のモニタ信号によって制御される こ と を特 徵とする光モジュール。
    . 請求の範囲第 2項において、 第 3 (第 2 ) の分岐導波路の出 力側に波長 の光信号を受光する受光素子を接続し、 該受先 素子の出力信号を増幅， 波形整形回路を通して第 2 (第 3 ) の 分岐導波路の出力側に接続された波長 λ i の光信号を発光する 発光素子に送り込み：、 第 1 の分岐 （主） 導波路の ¾力側に波長
    2 の光信号を受光する受光素子を接鐃し、 該受光素子の出耠 信号を増幅， 波形整形回路を通して主 （第 1 の分岐） 導波路の 出力側に接続された波長； 2 の光信号を発光する発光素子に送 り込むこと を特徵とする光モジユール。
    . 2本の導波路を並列に配置させた第 1方向性結合器の 力導 波路に、 該第 1方向性結合器と同 じ構造の第 2 ， 第 3方向性結 合器の各入力導波路の一方をそれぞれ接続した搆成と し、 上記 第 1方向性結合器の各入力導波路には波長の異なる 2つの光信 号が伝搬するよう に し、 上記第 2 ， 第 3方向性結合器の出力導 波路の一つには光変調器， ビームスプリ ッタ ， 半導体発光素子 を縱続接続し、 上記第 2 , 第 3方向性結合器の出力導 ¾路の残 り にはビ一厶スプリ ッタ ， 受光素子を縱銃接繞し、 かつ、 該半 導体発光素子の光信号の一部を該受光素子に入射させるよう に した 方向光コ 匕一 レ ン ト通信方法。
    . 請求の範園第 項において . 上記第 i方向性結合器の 2つの 入力導波路内 を伝搬する光信号の波長がいずれも i と 3 で あ る か、 あ る いはそれぞれ λ 1 と λ 3 及ぴ ； 2 と ； I 4 であ る こ と を特徵とする双方向光コ ヒ ー レ ン ト通信方法。
    9 . 請求の範囲第 1 項又は第 2項において、 上記方向性結合器の 各入力導波路内 を伝搬する光信号の伝搬方向が同一力、、 あ る い は逆方向である こ と を特徴とする双方向光コ ヒ ー レ ン ト通信方 法。
    1 0 . 低屈折率層 （屈折率 n b ) の上 に コ ア と な る複数個の略方形 導波路 （屈折率 n c ， n c > n b ) を並置 して構成 し 、 該コ ア 導波路に、 屈折率が n c a ( n c « < n c ， n c ≠ n b ) の ク ラ ッ ド を被覆してなる光合分波器。
    1 1 . 請求の範囲第 ュ 項において、 上記光合分波器を 2 つ 、 あ るい はそれ以上組合せて構成 した光合分波器。
    1 2 . 請求の範囲第 1 項又は第 2項において、 上記 ク ラ ッ ドは熱処 理に よって屈折率が変化する も のであ る光合分波器。
    1 3 . 低屈折率層 （屈折率 n b ) の上 に コ ア と な る複数個の略方形 導波路 （屈折率 n c , n c > n b ) を並置 して構成 し、 該コ ア 導波路に、 熱処理によって屈折率が変化する屈折率が n c 2
    ( n c 2 < n c ， n c z ≠ n b ) の ク ラ ッ ド を被覆 し 、 こ の ク ラ ッ ド に熱処理を加える こ と に よ って分波特性の中心波長を シ フ ト させる よ う に し た光合分波器の製造方法。
    】 4 . 請求の範囲第 4 項において、 上記ク ラ ッ ド上面よ る C 0 2 レ 一ザビーム を照射する こ と によ リ上記 ク ラ ッ ドの屈折率 を調節 し て中心波長を シ フ 卜 さ せ る よ う に し た光合分波器の製造方法、.
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    同族专利:
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    法律状态:
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    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP61/301258||1986-12-19||
    JP61301258A|JPS63155828A|1986-12-19|1986-12-19|Optical multiplexer/demultiplexer and optical module therewith|
    JP62/50037||1987-03-06||
    JP5003787A|JPS63217307A|1987-03-06|1987-03-06|Optical multiplexer/demultiplexer and its manufacture|
    JP62/56506||1987-03-13||
    JP62056506A|JPS63224426A|1987-03-13|1987-03-13|Bidirectional light coherent communication method|DE88900099A| DE3789551D1|1986-12-19|1987-12-11|Optischer multiplexer/demultiplexer und dessen verwendung in einem optischen modul.|
    DE3789551T| DE3789551T2|1986-12-19|1987-12-11|Optischer multiplexer/demultiplexer und dessen verwendung in einem optischen modul.|
    EP88900099A| EP0296247B1|1986-12-19|1988-07-05|Optical multiplexer/demultiplexer and use of the same in an optical module|
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